题目：非硅MEMS三维集成制造典型器件及应用

报告人：杨卓青  教授，上海交通大学“微米纳米加工技术全国重点实验室”

主持人：黄天云  助理教授

时间：2024年3月21日（周四）上午10:00－11:00

地点：北京大学环科新楼（刘水楼）B122室